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PlasCalc等離子體監測控制儀，實現200nm-1100nm波段內的等離子體測量，通過過程控制系統及精密數據存取算法，只需3s就可以獲得測量結果。
Recipe編輯器
Recipe編輯器有助于簡單快捷的配置、構建及存儲實驗方法。對一些困難的等離子體工序諸如膜沉積測量、等離子體蝕刻監測、表面潔度監測、等離子體室控制及異常污染、排放監測等，能夠快速簡單的構建模塊過程控制。
多種工具用于等離子體診斷
隨PlasCalc配置的操作軟件，集成的程式編輯器能夠容易實現多種數學算法功能。可選的波長發生器（可以單獨購買）用于類型確認，而波長編輯器可以用于優化信噪比。雙窗口界面用于顯示實際光譜及所有過程控制信息。
技術參數
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光譜范圍 |
200-1100 nm |
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光學分辨率 |
1.0 nm (FWHM) |
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D/A 轉換 |
14 bit |
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數字I/O |
8 x TTL |
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模擬輸出 |
4 x [0-10V] |
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接口 |
USB 1.1 |
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功耗 |
12 VDC @ 1.25 A |
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電源 |
90-240 VAC 50/60 Hz |
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尺寸 |
257 mm x 152 mm x 263 mm |
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重量 |
5 kg |
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